二手 SEMITOOL Storm 300 #9211217 待售

SEMITOOL Storm 300
製造商
SEMITOOL
模型
Storm 300
ID: 9211217
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Carrier cleaner, 12" 2010 vintage.
SEMITOOL Storm 300是半導體行業的一款箱式洗衣機。它是為化學機械平面化(CMP)和濕式清潔等先進工藝而設計的。Storm 300采用了先進的設計,包括一些功能,可實現卓越的清潔度、卓越的工藝控制和更高的吞吐量。SEMITOOL Storm 300旨在提供先進的清潔能力、精確的過程控制和高速過程吞吐量。它的設計促進了卓越的熱量和汙染物控制,確保了一個統一的質量結果。風暴300采用閉環、再循環、冷熱DIW設備,配有多個循環泵,以及溫度控制系統。SEMITOOL Storm 300有六個獨立調節的噴霧室和九個冷熱沖洗罐,獨立控制溫度。它還擁有整體式、全自動的冷熱化學輸送系統,以及一個獨特的內部單元,用於單個加工罐的采樣和排水。風暴300提供了對水流、溫度和化學濃度等沖洗參數的優越控制。SEMITOOL Storm 300有一個多區固化爐,旨在快速加熱零件,提供更清潔、更快、更可靠的幹燥過程。該烤箱還包括可調風速控制機和溫度控制工具。還包括一個內部排氣資產,用於排出揮發性化合物,以確保卓越的清潔度。Storm 300還為各種可選的濕式板凳配件提供了一個腔室,包括第二個固化烤箱和過濾器/泵總成。SEMITOOL Storm 300設計了強大的安全系統,包括門互鎖、真空感應和高溫預警模型。Storm 300還具有板載數據記錄和控制設備,有助於確保準確和可重復的過程參數。SEMITOOL Storm 300旨在滿足高容量半導體制造的嚴格要求,它提供了先進、可靠的設計和優越的工藝控制。
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