二手 ASYST / PST Melitas F30 #293668011 待售

ASYST/PST Melitas F30是一種用於基材熱處理的最先進的擴散爐設備。該系統適用於金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）、原子層沈積（ALD）和外延等一系列先進工藝。該裝置由一個F30爐組成，該爐具有進行快速熱處理的能力，以及一個7真空循環負載鎖，用於將基板送入和送出腔室。該爐由高真空額定不銹鋼構成，可用腔室尺寸為25英寸乘25英寸。它可以接受直徑不超過8英寸、厚度不超過0.15英寸的基板。F30擴散爐可處理高達950 °C的基板。設計用於室內溫度的最優均勻性和均勻性。這是通過多區加熱器陣列和先進的原位溫度控制器，具有高精度傳感器和溫度控制算法來實現的。此外，F30擴散爐還配備了CCD攝像頭，用於在加工過程中監控基板。該相機可用於獲取蒸發和冷凝過程的實時信息，以及驗證腔室的清潔度和清潔度。F30爐中使用的基板載體采用高溫鋁合金制成，內襯高溫絕緣材料，最大限度地保持熱量。載流子的特點是石英頻閃，以提高真空凈化性能，以及一個中央射頻線圈，用於精確的基板溫度控制。該機兼容PST和ASYST Melitas的一系列配件產品。這些包括用於低溫應用的冷陷阱、用於低真空應用的負載鎖、不銹鋼樣品托盤、石英界面組件和替代加熱器元件。F30擴散爐是一種可靠、經濟高效的基材熱處理工具。它堅固易用,是各種高級流程應用程序的絕佳選擇。