二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9190226 待售
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ID: 9190226
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1Boat
Load lock: No
(25) Carrier slots
System control:
Main controller: CX3002C
Touch screen operation
Gas flow chart (Front, Rear)
Temperature controller: CQ1600
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Oxygen analyzer: No
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Process gas 1: N2
Process gas 2: N2
Process gas 3: O2
Process gas 4: O2
Process gas 5: H2
Process gas 6: Hcl
Process gas 7: N2
Process gas 8: N2
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
Regulator: AP Tech
MFC (Maker. Model): AERA
GAS Detector
Exhaust distribution system:
Air operated valve type
APC EPV-100
Baratron gauge
Main valve
Cold trap
Pump line
Wafer / Cassette handling:
Wafer alignment: No
(16) Cassette storage
Cassette in/out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
TC Type: No
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust System:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Maintenance zig: No
Operation manual: No
Electrical manual: No
Mechanical manual: No
Boat cap ass'y: No
Manifold ass'y
Cap base ass'y
Tube setting part ass'y
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
Currently warehoused
2001 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223V是一種用途廣泛的擴散爐設備，可用於一系列應用，包括半導體和太陽能電池制造、薄膜沈積和其他工藝爐應用。HITACHI DD-1223V具有絕緣石英管和1200 °C的最高爐溫。該爐可安裝在垂直和水平兩種結構中，包括用於調節氧氣和氮氣平衡水平的室內氣體系統。KOKUSAI DD-1223V配有一套旨在支持各種工藝要求的配件。這些附件包括一個減少汙染的石英襯管、一個收集排氣的收集板、一個防止電弧的陽極環和一個控制基板溫度的坩堝加熱器。此外，該爐還包括各種安全功能，如氣體監測裝置、可燃氣體過濾器、安全關閉裝置以及溫度超過預設限值時的自動關閉裝置。DD-1223V具有易於使用的觸摸屏界面以及針對不同流程的各種預編程配方。該爐通過與Windows兼容的PC進行編程,並且可以通過網絡連接進行遠程操作。此外，該爐還包括一個用於連接外部系統的RS 232接口，允許用戶訪問額外的控制和監控功能。HITACHI/KOKUSAI DD-1223V的設計既耐用可靠,又節能。該爐由堅固的鋁制成，包括一個雙絕緣石英管，以減少熱量損失，同時產生一致的溫度貫穿始終。該爐還包括水冷機，通過電源和控制電路循環冷卻劑，以確保安全運行和冷卻效率。HITACHI DD-1223V擴散爐及配件是一種易於使用、用途廣泛的工具,體積小巧,節省空間,適用於各種潔凈室和工業應用。它提供可靠的操作、廣泛的過程控制功能、先進的安全功能和易於維護。KOKUSAI DD-1223V以其直觀的觸摸屏界面、全面的配件包以及廣泛的預編程配方選擇，是任何用戶的絕佳選擇。
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