二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9229590 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是TEL（TOKYO ELECTRON）為工業用途而設計制造的先進擴散爐。該擴散爐廣泛應用於半導體制造、光伏電池制造、蝕刻工藝等多種行業。它是一種集成設備，包括一個30型晶圓爐、一個Alpha 30晶圓載波和一個Alpha 8雙室平整工具。30型Wafertron爐允許最高1150°C的溫度控制以及內置的反吹功能，允許低應力擴散過程。該爐還設有兩區「Z軸」系統，在熱區和冷區之間保持一個均勻的溫度場，以確保溫度輪廓緊湊。Alpha 30晶片載波設計用於處理各種尺寸的晶片，可以通過熔爐移動直徑高達6英寸（150毫米）的晶片。它配有氣墊和支撐物，保證了順暢、安全的運輸。Alpha 8雙室壓平工具在擴散爐配件中采用了最新技術，允許快速、受控的氣動壓平工藝。這個單元允許對晶片厚度進行更精確的控制，方法是對腔室加壓，然後釋放壓力使晶片自動變平。TEL ALPHA-303I通過其創新的設計和先進的功能提供可靠和高效的性能,使其成為工業用途的首選。它將精密溫度控制與現代化的腔室設計相結合，使使用者能夠達到各種應用所需的精密參數。這臺機器也有經驗豐富的工程師作為後盾,可以在需要時提供技術支持。