二手 RUDOLPH FE VII D #9097167 待售

RUDOLPH FE VII D
製造商
RUDOLPH
模型
FE VII D
ID: 9097167
晶圓大小: 8"
Film Thickness Measurement System, 8".
RUDOLPH FE VII D是為了表征薄膜和表面而設計的橢圓偏振儀。它同時使用寬帶和單色照明來測量反射光的偏振程度。獲取的數據隨後可用於表征薄膜和表面,包括介電常數、層厚度和光學各向異性。RUDOLPH FE VIID具有高度先進的數字信號處理器和四個同步CPU,可同時在高達400nm波長的16個頻率下進行橢圓偏振測量,並確保高精度和重復性。它有一個集成的軟件包,允許用戶輕松創建分析功能並獲取可靠和準確的數據。它還支持多光譜成像,允許用戶通過一次掃描收集完整的參數矩陣。FE-VIID堅固耐用的設計包括鋁制框架、耐腐蝕的不銹鋼基座以及安裝偏振元件的專用表。緊湊的設計還可以方便地集成到現有的工藝和儀器套件中。集成包括各種接口(如WLAN和以太網),這些接口使遠程數據收集和存儲變得快速方便。RUDOLPH FE-VIID有幾個可選的分析包,包括一個專用的膜應力包。此軟件包為用戶提供了橢圓偏振測量、圖形表示和薄膜應力參數計算的獨特組合。它還包括一個應力參數映射工具,非常適合大面積掃描和表征。最後,FE VIID采用軟啟動系統,大大縮短了測量樣本所需的設置時間。此外,高度精確的樣品定位和調整系統允許快速和方便的樣品對準,大大減少了進行橢圓偏差測量所需的時間。
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