二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293652763 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 293652763
晶圓大小: 6"
Etchers, 6".
AMAT/APPLICED MATERIALS 8330(AMAT 8330)是一種用於制造集成電路、薄膜晶體管等技術的蝕刻/灰燼設備。它是一個獨立於平臺的系統,可以修改後與矽、鎢和鋁等多種膜加工化學物質配合使用。APPLICED MATERIALS 8330單元是一個先進的模型,具有一個大腔室能夠蝕刻/灰化基板直徑達375mm。它采用高壓幹蝕刻技術,允許用戶在對易碎基板造成最小傷害的情況下實現高分辨率和長寬比蝕刻。它擁有一臺以氙氣燈為基礎的光學機器,使得膜和基板之間的對比度非常好。8330提供了優異的工藝性能,得益於其快速的熱循環時間、高蝕刻速率和精度的高壓反應性離子蝕刻技術,以及容納更大基板的大腔室尺寸。它提供了一個小腔室設計,用於可靠,低缺陷的處理,和可調節的溫度控制精確控制蝕刻參數。該工具還提供了出色的工藝均勻性,使用戶能夠在整個晶圓表面實現均勻的長寬比和表面光潔度。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330資產的其他特性包括變頻等離子體源以提高蝕刻選擇性,以及基於計算機的控制模型以簡化操作,以及以太網的遠程機器監控能力。它還具有用於預處理作業的內置加熱元件、用於廢物收集的鹽酸過濾設備以及用於高效真空過濾的冷藏裝置。該系統專為實現最大通用性而設計,易於維護和維修。總體而言,AMAT 8330是一個先進的蝕刻/灰燼平臺,在各種基材上提供嚴格的蝕刻結果。其特點使其非常適合生產集成電路、薄膜晶體管等技術。它的設計目的是提供可靠、統一的結果,同時盡量減少對細膩基板的損害。憑借其先進的基於計算機的控制和以太網功能,它是許多不同應用的理想單元。
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