二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9184414 待售
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ID: 9184414
晶圓大小: 6"
Metal etchers, 6"
Spare parts included
Includes:
Cryo compressors
Bell jars
PM Kits
Chamber parts
Robot parts
RF Generators
RF Matches.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 蝕刻器/asher是一種全面、經濟實惠的工具,用於蝕刻和灰分材料,如矽、金屬、聚合物和玻璃。這一設備旨在為半導體、MEMS、醫療、光電和汽車工業中的晶圓提供高效、精確的蝕刻或灰化。AMAT 8330 蝕刻器/asher提供各種基板的高性能蝕刻、清潔和粉刷,包括矽、二氧化矽、金屬、金屬氧化物、蝕刻止動材料、鈍化氧化物和焊膜。它與光致抗蝕劑材料兼容,設計為蝕刻寬縱橫比圖案,具有銳利的垂直輪廓,不會損壞或變色基材材料。該系統具有高級工藝,如反應性離子蝕刻(RIE)、射頻(RF)蝕刻和用於超淺結蝕刻的多步蝕刻(USJ)。APPLICED MATERIALS 8330 蝕刻器/asher由於具有獨立的工藝氣流控制的大型工藝室,能夠在整個晶片上提供高重復性和優異的均勻性。該機組還配備了內部冷卻機,減少晶片熱損傷,確保多層材料均勻蝕刻。該工具配備了一個綜合視覺資產,用於檢查正在蝕刻的材料是否存在缺陷。8330 蝕刻器/asher設計用於高吞吐量和高質量的結果,同時自動處理多達五個晶片。該模型的高級軟件允許用戶自定義工藝參數以獲得最佳蝕刻速率、可重復性和質量控制。設備設計方便維護,運營成本低。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS 8330 蝕刻器/Asher是一種經濟高效的精密工具,可為半導體、MEMS、醫療、光電和汽車行業的材料提供多種蝕刻和灰化技術。憑借其先進的功能,如寬寬高比圖樣的無功離子蝕刻、熱冷卻系統、高通量功能和自動化維護,此設備是任何尋求經濟高效蝕刻或灰化解決方案的人的理想選擇。
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