二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9365711 待售
網址複製成功!
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330是一款高級蝕刻器和asher,專為最具挑戰性的蝕刻和灰化要求而設計。它利用反應性離子在矽片、MEMS、成像和顯示器等基板上實現精確蝕刻和灰化。AMAT 8330具有專有的過程集點優化(PSO)功能,能夠更好地控制蝕刻過程參數,如輪廓均勻性、可重復性、可重復性、邊緣曲率和可重復性。為保證蝕刻過程的均勻性和穩定性,APPLIED MATERIALS 8330配備了一系列自動溫度控制機制。8330的吞吐量高達每小時200晶圓,這取決於工藝要求。還配備了非反應性腔室,具有高精度、高密度、高選擇性蝕刻工藝的優異性能。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330還提供了一個用戶友好的圖形用戶界面(GUI),其中包含嵌入式高級配方,以幫助最大限度地提高工藝條件並加快吞吐量。AMAT 8330還能處理不同厚度的底物,包括聚酰亞胺等薄層。它還配備了改進O2-free處理的氮氣凈化設備,以確保結果一致,即使在處理同一層堆棧的基板時也是如此。APPLICED MATERIALS 8330提供完整的自動化晶片處理系統,以及直徑8英寸以下基板的快速鎖定卡盤技術。它還有一個綜合視覺單元,允許自動晶圓對準和監測,以加強過程控制。該發動機能夠處理高壓集成,以實現高效冷卻和蝕刻。它也適應室內配方,在多步驟過程中更好的工藝優化。8330蝕刻器和asher是一種有效、可靠的高級蝕刻和ashing工具。其精巧的設計提供了精確、可重復和可重現的處理結果。此外,其龐大的吞吐量和集成的視覺機器提供了一個最佳的方式,以最大限度地提高矽片和基板多層堆棧的效率。
還沒有評論