二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619545 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高端蝕刻器和asher,旨在生產低至納米分辨率的高精度元件。GASONICS Aura 1000能夠產生非常精細的特性,非常適合要求高精度和極高精度的應用。該設備可以蝕刻和灰燼到小至10納米的深度,從而實現極其詳細和復雜的設計。NOVELLUS Aura 1000具有靈活的生產線,可以處理廣泛的應用。它可以編程為蝕刻和灰分金屬,陶瓷,和半導體材料像矽。該系統配有精密控制室,提供恒定可靠的溫度和壓力控制,以產生優異的效果。該工藝被封閉在一個封閉的單元環境中,使其安全幹凈。Aura 1000配備了高級專有組件,可實現高精度和可重復性。這些組件包括蝕刻室、氣體噴射器、用於氣體分配的淋浴頭式結構和PAVG源供應。這些組件的組合允許復雜的3D結構和精細的特征。機器的集成軟件允許創建復雜的路徑和特定於機器的過程,從而更容易訪問生產記錄並確保制造組件的質量。它還通過自動檢查工具對蝕刻件進行視覺驗證。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000具有卓越的準確性、速度和效率,非常適合汽車、航空航天和醫療行業。它旨在將特性尺寸降低到納米分辨率,從而能夠在較短的交貨時間內制造出獨特的元件。資產為高價值、高精度零件提供高效生產線。
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