二手 LAM RESEARCH 4520 #131594 待售

LAM RESEARCH 4520 蝕刻器/asher是一種高性能、多用途的蝕刻/灰燼系統,旨在沈積和去除層層材料,從而在單面和雙面晶片上創建非常精確的圖樣。它能夠同時蝕刻和粉刷各種材料，如金屬、電介質、聚合物和陶瓷。4520由多個加工室組成，包括蝕刻/灰燼模塊、源控制、預清潔室和後清潔室。蝕刻/灰分模塊裝有一束反應性化學物質。該梁由動力梁轉向驅動，從多個角度和深度指向基板。這樣就可以以較高的生產率從晶片中控制、精確地去除層。源控制模塊是一個可調的遠程腔室，可以向蝕刻/灰燼模塊提供不同組合和濃度的氣體混合物流動。這允許詳細控制蝕刻/灰分過程。預清潔室用於在基板進入蝕刻/灰分模塊之前清除基板上的殘留物。這個腔室采用化學、高溫和機械過程的組合，以確保晶圓在加工前是幹凈的。後清潔室還用於清除蝕刻/灰燼模塊中留下的殘留物。該陷阱室采用了一系列過濾器，以確保在晶圓退出之前，所有殘留在蝕刻/灰分模塊中的顆粒物或殘留物都被清除。LAM RESEARCH 4520是一種適應性強、精密、可靠的蝕刻/灰分系統。它具有強大的橫梁轉向和精確的多向和深度控制橫梁。它的多個工藝室提供對所使用的化學物質的精確控制以及清潔的預處理和後處理。這使得4520成為高效、精確的蝕刻/灰分系統。