二手 LAM RESEARCH 4520 #199859 待售

ID: 199859
晶圓大小: 8"
TCP oxide etch system, 8" Can be converted to 6" Mounting: bulkhead Software: Envision 1.52 Indexers: HINE AC box: -002 Gas box: orbital welded Clamping: ESC Backside helium: close loop Generator: PDW 2200 RF match: LOFAT Endpoint: monochrometer MFCs: Unit 1660 Gas config: Gas 1: Ar 1000 Gas 2: N2 200 Gas 3: O2 200 Gas 4: CH4 200 Gas 5: CHF3 50 Gas 6: SF6 50 Gas 7: O2 1000.
LAM RESEARCH 4520 蝕刻器/asher是一種先進、全自動和數字控制的等離子體蝕刻器/asher,用於各種半導體和微電子材料。這臺機器具有多種獨特的功能,可提高用戶的工作效率、準確性和精度。4520采用堅固耐用的材料建造,可提高其長期使用。機器組件易於訪問和互換,因此可以在最短的停機時間內實現維護和維修。數字控制面板允許對處理參數進行高效、精確的控制。LAM RESEARCH 4520 蝕刻器/asher提供的高處理精度和可重復性進一步使制造更好和更高質量的設備成為可能。數字控制面板還具有不同的密鑰和編碼器,使操作員能夠立即調整蝕刻持續時間、壓力和組成。機器有兩個獨立的腔室,以適應雙晶片處理在一個操作。該裝置能夠使用各種蝕刻氣體和加工流體對厚膜和薄膜基板進行化學和物理蝕刻。可用於修飾和蝕刻多種材料,包括矽、砷化氙等半導體材料。4520配備先進的安全功能,保護操作員和產品免受危險條件的侵害。機器內置的安全規定包括氣爆監測、壓力安全聯鎖、緊急關閉按鈕等。此外,通過使用完全密封的系統,任何正在使用的危險材料或真空都被包含在內。該機器用途極為廣泛,其模塊化結構允許用戶配置系統以滿足他們的流程需求。此外,LAM RESEARCH 4520 蝕刻器/asher的設計符合國際安全法規標準。這樣可以確保用戶以安全、可靠和合規的方式操作其計算機。最後,4520蝕刻器是制造半導體器件和微電子的理想選擇。憑借其先進的安全特性、精確精確的數字控制面板以及方便的維護和維修,這臺機器為用戶提供了極致的高生產率工具。
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