二手 PSC DES-212 #9028319 待售

PSC DES-212
ID: 9028319
晶圓大小: 6"
優質的: 1986
Ashers, 6" 1986 vintage.
PSC DES-212 蝕刻器/asher是一種綜合蝕刻和灰化設備,設計用於半導體晶片的蝕刻和灰化。該系統采用半自動蝕刻器/灰化器,可以安全快速地蝕刻和/或粉碎半導體晶片和其他電子元件。該單元包括一個加熱的處理器室,能夠容納直徑最大8英寸的八(8)個晶片,以及一個可編程的數字讀出,允許用戶精確控制所需的工藝參數。DES-212 蝕刻器/asher利用先進的技術來產生卓越的蝕刻和灰化性能。機器的交叉流動雙氣體排氣陷阱有效地最大限度地減少了腐蝕性酸性氣溶膠的逸出,而高性能的雙CVD泵則保證了酸的最佳輸送。PSC DES-212 蝕刻器/asher結合了先進的控制電子設備來精確調節蝕刻速率和基板溫度。此外,該工具還包括一個高級蝕刻/灰化模塊,旨在在蝕刻/灰化循環期間方便地收集腐蝕性液體的任何溢出。DES-212 蝕刻器/asher帶有一個高效但安靜的微處理器控制的驅動機構,可以將加工室調整到精確的蝕刻或灰度溫度。與競爭激烈的產品相比,其高性能、受溫控制的散熱器提供最高效的傳熱速率。此外,資產還包括一個自動啟動功能,該功能允許用戶簡單地選擇所需的進程參數集,並且蝕刻器/asher將開始蝕刻或ashing循環。PSC DES-212 蝕刻器/asher旨在減少化學用量,同時提供最佳的工藝性能。其全封閉腔室和先進的酸輸送模型有效地防止了高腐蝕性液體的逸出。此外,密封處理器室確保用戶和周圍環境的安全。DES-212 蝕刻器/asher設計為提供自動溫度控制,用戶可以從多個蝕刻/ashing參數中進行選擇。PSC DES-212 蝕刻器/asher是一種易於使用的設備,可輕松集成到一系列實驗室設置中。
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