二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV #122877 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV
已售出
ID: 122877
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
Oxide etcher, 8" (2) Telius SP Vesta Chambers 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP-2055 VV是一種蝕刻器/Asher,專為需要高精度和高通量的應用而設計,用於蝕刻和灰化最高質量的結果。這是從SiO2和SiN等材料到金屬各向異性蝕刻、絕緣材料和半導體材料等各種樣品的理想設備。金屬/矽基板上抗蝕劑的蝕刻/灰化也可根據應用進行。TEL Telius SP-2055 VV具有氣流系統,具有多級泵送單元和可以調節以提高加工速度的氣箱。具有持續精度的真空控制允許在腔室中以最高4.41 mbar的速度13.9L/min驅動。它還有一個自動壓力控制(APC)機器,允許在必要時調整壓力水平。該工具還具有自清潔渦輪分子泵,再生周期時間為1-9分鐘。TOKYO ELECTRON TELIUS SP-2055 VV還擁有先進的晶圓溫度控制資產,工作範圍在-40°C,晶圓溫度限制在100°C。其改進的冷卻模式允許操作員調整腔壁的冷卻速率,在需要時延長蝕刻工藝時間。Telius SP-2055 VV還具有一個精密蝕刻器/asher,帶有負載鎖定設備,允許晶片在樣品支架上的定位,而無需打開炮塔門。這樣做是為了防止更換晶片時樣品受到汙染。其廣泛的軟件為設置和監控參數提供了一個易於使用的用戶界面。采用恢復性自動清洗系統也減少了設置時間和樣品加載時間。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP-2055 VV專為高精度、高通量、最高品質的結果而設計。其特點是具有多級泵和可調性能的氣流單元和具有穩定精度的真空控制機。它還具有改進的晶圓溫度控制工具和冷卻資產,以延長蝕刻時間。精密蝕刻器/asher還有一個負載鎖定模型和一個自動清洗設備以及廣泛的軟件自動設置和監測。
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