二手 YES / GLEN R1 #9049956 待售
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ID: 9049956
Plasma etcher
RF Power supply with matching network
Lark sequential microprocessor
(3) Plasma gas inputs
Granville phillips 275
Backfill input
Inside dimensions: 16" x 16" x 16"
(8) 14" x 14" trays
115 V, 60 Hz, 1.4 A, 175 W.
YES/GLEN R1是一種先進的蝕刻和化學灰化設備,設計用於在半導體制造工藝之前制備晶圓。它是由YES Technology開發的,具有在單個系統中執行幹蝕和化學灰化過程的能力。該單元包含用於幹蝕刻過程的反應性離子蝕刻器(RIE)和用於化學灰化的感應耦合等離子體(ICP)。所有過程都可以在惰性氣體環境中使用各種各樣的氣體進行。機器配備了多種安全功能,如超壓保護和離子束限流,以確保刀具的安全運行。YES R1結合了高級自動化和軟件功能,提供了高度可重復的蝕刻和灰化性能。它具有用於控制、數據采集和過程優化的開放式體系結構計算機接口。該資產還能夠使用電阻加熱元件進行熱灰化,該元件可達到高達9500 °C (17,000 °F)的溫度。GLEN R-1配備了場發射掃描電子顯微鏡,以確保樣品在加工前與基板精確對準。它還包含一個機器人樣品裝載機,以方便樣品處理。該型號配備了眾多的診斷、監控和安全功能,以確保設備運行可靠、安全。該系統還能夠在安全數據庫中存儲和跟蹤配方信息,以確保一致的流程結果。R 1非常靈活,非常適合各種半導體蝕刻和灰化應用。它結合了先進的自動化特性和先進的安全性和控制性,非常適合先進的半導體生產工藝。
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