二手 AUTOMATECH Altix #9195164 待售

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製造商
AUTOMATECH
模型
Altix
ID: 9195164
優質的: 2015
UV Exposure systems 1 Phase 2015 vintage.
AUTOMATECH Altix是專為半導體晶圓處理而設計的高性能自動曝光設備。該系統配備了優化的高精度翻譯階段,以創建復雜的三維結構,精確精確,無需人工或直接操作員幹預。Altix擁有完全可變的曝光設置,以獲得最大的靈活性,同時產生一致的結果和出色的線條清晰度。其專利自載機制旨在減少暴露時間,最大限度地降低損壞風險。AUTOMATECH Altix的光學單元維護不善,可確保光輸出在各種操作條件下的均勻性。該機器具有廣泛的空間頻率和角度分辨率-寬帶光譜曝光為0.2 µm至0.95 µm,帶寬曝光為0.85 µm至10.5 µm。這使操作員能夠精確準確地控制個別曝光的能量和位置。曝光工具直觀易用,具有多種操作模式和用戶友好的圖形用戶界面。它還能夠進行以太網和IEEE-1394網絡通信,並且可以集成到自動化生產系統中。該資產包括預先存儲的掩碼圖樣,以提高工作效率,並具有用於直接反饋和評估掩碼以及抵抗圖像的高性能CCD攝像頭。Altix設計緊湊,占地面積很小,可輕松集成到現有生產系統中。它需要最低限度的監督才能最大限度地提高生產率,並且可以編程為在自動化過程中工作。此外,由於其專有的空氣軸承設計,這種模型可以應用到各種各樣的基板不幹燥或清潔。AUTOMATECH Altix非常適合處理各種不同應用的基材,包括蝕刻、沈積和部分晶圓制造。高精度的曝光和優異的質量使其適合用於先進的高端半導體生產過程。總體而言,Altix是那些需要卓越結果、要求高可靠性、準確性和速度的用戶的完美解決方案。
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