二手 AXCELIS / FUSION 200 #9190886 待售

AXCELIS/FUSION 200是用於集成電路制造的先進半導體曝光設備。該系統具有類似掃描儀的子系統,能夠實現超過1 µm的精度和可重復性,並為從快速原型設計到大批量生產的所有產品提供了集成解決方案。該單元基於雙列環境，覆蓋面積大，工藝參數範圍廣。它是高端光刻的強大工具,與其他解決方案相比,可提高可擴展性和吞吐量。FUSION 200具有直觀、用戶友好的界面以及一整套先進的光學和計算技術。這臺機器使用最先進的光學和機械元件在整個芯片上提供快速、精確和一致的曝光。有幾種照明模式可用,例如標準模式和接近模式。此外,AXCELIS 200還將與紫外線和深紫外線光源一起使用,以有效地處理各種材料。該工具能夠處理所有類型的基板，包括200毫米以下的晶片和12英寸以下的平板。此外,它還具有各種性能選項,如曝光時間、能量水平和其他設置,這些選項可根據應用程序進行調整。此外,200還配備了集成的模擬資產,使其能夠快速復制所需的曝光參數。這有助於改善光刻工藝，確保高水平的均勻性和可重復性。該模型旨在最大限度地降低維護和操作成本。AXCELIS/FUSION 200需要最少的維護,並且燈壽命顯著延長,從而降低了總體運營成本。此外，該設備與各種基材兼容，並具有卓越的對準和分辨率。這使得它成為大批量生產的絕佳選擇。FUSION 200是一種可靠、高性能的曝光系統，適用於所有類型的半導體應用。其優越的光學性能和精確的對齊方式允許對一系列材料進行高度精確的處理。此外,它易於使用,維護需求低,並且提供了節省時間和成本的選項。