二手 USHIO UMA-1002-HC93FS #9098801 待售

USHIO UMA-1002-HC93FS是為滿足半導體器件制造商的技術需求而設計的先進計量級曝光設備。該系統集成了多項領先技術，為晶圓表征、缺陷檢測、先進光刻技術以及其他高端芯片制造工藝提供卓越的曝光監控能力。USHIO UMA 1002-HC93FS的核心是先進的專有曝光控制單元。這臺機器做出智能決策,在曝光過程中自動調整參數,以保持最佳曝光質量,在嚴格的公差範圍內提供可靠的結果。該工具還支持對E-Town和E-Line溫度的精密用戶控制,以精確控制可重復使用的材料。該資產配備了強大的光學系統陣列，用於檢測缺陷和精確測量晶圓。光學器件采用F-theta掃描技術、半色調模式識別、晶圓傾斜測量能力的組合來量化曝光質量。該模型還可以精確測量尺寸小於50納米的缺陷。還對設備進行了校準,使其與大多數曝光工具和晶片類型配合使用,包括可能具有不同長寬比的多層設備。為了最大限度地提高操作員的預期壽命和安全性，UMA-1002-HC 93 FS配備了一系列安全功能。該系統配有防靜電板以防止觸電、用於快速關閉曝光過程的主動緊急停止按鈕以及用於緊急情況的緊急電源按鈕。此外,UMA-1002-HC93FS還具有用戶友好界面,使用戶可以輕松地監視和調整設備設置。機器包含詳細的手冊和屏幕提示,以指導用戶完成設置和操作。總體而言,USHIO UMA-1002-HC 93 FS是一種高級高端曝光工具,可為電子制造業提供先進的計量能力。它的特性和安全措施使其非常適合用於需要精確、可靠的曝光性能的應用。