二手 USHIO UMA-1002-HC93NM #9096447 待售

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USHIO UMA-1002-HC93NM
已售出
製造商
USHIO
模型
UMA-1002-HC93NM
ID: 9096447
優質的: 1996
UV Cure system, 1996 vintage.
USHIO UMA-1002-HC93NM曝光設備是一種高性能、最先進的微量和納米級設備光刻工具。該系統采用極其精確的激光幹涉對準裝置,利用兩束十字光束確保光刻膠的精確對準和定位。即使在處理極薄的抗蝕劑層時,這也確保了很高的可重復性結果。為了滿足當今下一代集成電路的需求,該機采用了廣泛的可調參數來精確控制紫外線暴露過程。這包括可變基板功能和多種對齊模式。這些功能使用戶能夠微調曝光過程,以實現更高的分辨率和精確的陣列。UMA-1002-HC93NM配備了集成投影鏡頭工具,利用高NA物鏡和最先進的遠場準直儀實現了優異的成像性能。投影鏡頭資產還包括一個可調物鏡模型,用於對裝置的俯仰、對準和聚焦進行精確調整。USHIO UMA-1002-HC93NM利用313 nm的UV源,在使用傳統光刻膠時對其進行調整以獲得最佳效果。這個來源也可以與其他高科技替代品如感光聚合物和碳納米管一起使用。設備的取放能力讓用戶能夠準確定位石英、玻璃、塑料膜等細膩的基板。該系統具有堅固、觸摸屏操作的控制面板,用戶可以輕松訪問和調整其各種參數。用戶友好界面還提供監控功能,確保定期調整所有參數,以保持最佳性能。總體而言,UMA-1002-HC93NM是一個先進和高度可靠的單元,旨在滿足現代高科技半導體產業的需求。這款可靠、精密的工具采用集成投影鏡頭機,可實現卓越成像,微調曝光過程的可調參數,以及直觀的觸摸屏控件,用於調整設置和監控性能。
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