二手 VARIAN 300XP #9103077 待售

VARIAN 300XP離子植入器和監控器是一種先進的技術，它為用戶提供了一種將雜質植入單晶基板以提高性能的可靠解決方案。該離子植入器具有無與倫比的植入物參數控制功能，能夠動態改變偏置電壓、光束點強度和劑量持續時間。VARIAN 300 XP使用高電流、脈沖模式的光束傳遞高能原子種類，並配備了精密的固定式離子源和光束轉向整形光學器件。設備可適應各種配置，如用等離子灰進行原位氣體清洗、充值植入物、氣體或液體擴散等。300XP采用了堅固、高性能的光束光學設計,可實現高達8微米光斑尺寸的精確光束聚焦和出色的均勻性。這提供了加速植入摻雜過程和高保真植入過程。此外，該系統還具有可配置的對齊轉換，用於促進錯綜復雜的植入模式和對齊不準確。此外，300 XP還配備了一個在線法拉第杯監測裝置，用於監測植入過程中的離子束，確保植入準確和可重復。VARIAN 300XP還提供了一系列可定制的安全選項,包括壓力聯鎖,以防止意外接觸帶電粒子。還包括一個磁互鎖機（MIS），當感應到磁幹擾時關閉光束。此功能可確保刀具性能的完整性及其操作員的安全。為了確保過程的可重復性，資產提供自動化的過程補償，包括劑量法、電流監測、基板數據收集和基板運動補償。這有助於確保提供均勻、可重復的興奮劑配置文件。該模型還具有全方位導航、入門級編程、宏編程、批處理等高級操作模式。VARIAN 300 XP是一種非常可靠且經濟高效的離子植入解決方案。該設備設計易於集成和操作,具有良好的控制、可重復性和安全性。所有這些先進的功能，300XP是一個極好的選擇，任何離子植入應用。