二手 VARIAN 350D #293600208 待售

VARIAN 350D是一種高性能的離子植入器和顯示器，旨在將精確劑量的高電荷離子輸送到半導體基板中。它由幾個組件組成，包括離子源、束線、質譜儀、束偏轉系統和控制臺。VARIAN 350 D離子源是一種加熱的高真空兼容源，能夠輸送各種能量和束電流的離子。它由頻率和振幅可調的射頻發生器供電，並配有電子束離子源，用於對離子通量的精細控制。光束線由聚焦磁體、加速電壓源和一組靜電偏轉板組成。光束被聚焦磁體產生的磁場聚焦，這使得能夠精細控制離子束的軌跡和能量。加速電壓源提供了將離子加速到所需植入能量所需的能量。靜電偏轉板用於使離子束偏轉並轉向所需的目標基板。質譜儀用於測量和監測植入的離子。它能夠精確控制離子通量和劑量速率，使所需劑量得到精確控制。它配有一個腔室和一組高阻抗探測器，用來測量離子種類及其各自的強度。350D配有由旋轉偏轉器和可調梁成形柵格組成的梁偏轉系統。用偏轉器切換梁的位置，用梁成形柵格減少梁的發散，控制梁的形狀。該系統允許離子束相對於目標基板精確定位。控制臺提供直觀的圖形用戶界面，使植入參數的精確控制和監控植入過程。它還允許通過互聯網遠程監測和控制350 D。VARIAN 350D是一種功能強大、精密的離子植入器和監控器，能夠向底物中輸送高度精確劑量的高電荷離子。其組分組合允許完全控制植入過程，確保精確劑量的離子物種可以植入基質中。它是制造需要精確控制摻雜水平的設備的理想工具。