二手 VARIAN 350D #9027984 待售

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VARIAN 350D
已售出
ID: 9027984
晶圓大小: 3"-4"
Ion implanter, 3"-4" Research cube end station.
VARIAN 350D是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.制造的離子植入器和顯示器。該設備專為半導體材料研發中的離子植入而設計。是一款適用於高端植入應用包括開發新半導體技術的高壓、大功率儀器。VARIAN 350 D由主系統控制器、植入室、植入源、光束線、電源和主目標組成。主單元控制器是控制儀器操作的中控臺。這包括監控諸如束電流、束電壓、束線幾何形狀、束形狀和劑量等過程參數。植入室是一個由法拉第籠子保護的潔凈室環境,可以實現最佳的離子植入。植入物源負責將加速離子提供給要植入目標材料的主機器控制器。光束線由幾個目鏡和監視器組成,這些監視器和監視器優化離子束並允許其指向所需的目標。另外,電源提供操作儀器所需的電源。最後,主要目標是將離子植入目標材料的位置。350D提供卓越的性能、準確性、可靠性和靈活性。它具有0.3-2.5m/sec的速度範圍,並且可以植入矽、矽​​、砷化氙等材料。此外,該工具可配置最多四個植入源,用於植入或擴散過程。此外,該儀器非常適合各種應用,包括晶圓查詢、光電器件、內存器件、翻轉芯片技術和微處理器。高精度和高精度也是350D的主要優點。它利用先進的掃描控制資產來傳遞離子,從而確保最大性能和準確性。此外,內置高壓監視器可防止突然出現高壓情況,從而提高安全性並保護人員和儀器。總體而言,VARIAN 350D是涉及半導體的研發項目的理想選擇。其令人印象深刻的特點,出色的性能和準確性使其成為開發卓越半導體技術的理想選擇。
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