二手 VARIAN 350DE #9055664 待售

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VARIAN 350DE
已售出
ID: 9055664
晶圓大小: 6"
Medium current implanter, 6".
VARIAN 350DE是來自高性能半導體處理解決方案領導者VARIAN Semiconductor Equipment Inc.的離子植入器和顯示器。這種高端離子植入器為大容量半導體制造和加工應用提供了精確的操作、卓越的性能和可靠性。350DE設計提供穩定和可重復的摻雜濃度設置和更多的過程穩定性。它的高電流和高速能力可以提高生產率和最大摻雜吞吐量。它配備了最先進的光束監測器,以確保光束強度恒定,劑量控制均勻。具有糾正梁穩定性問題的光束校正能力。它設計了一個堅固的離子束,可以處理不同的晶圓基板具有很高的精度。VARIAN 350DE有一個智能的饋電控制系統,可以自動加載、卸載和存儲晶片在特定的口袋中,還可以同時引入多個晶片。它具有24區晶片清潔功能,可以在植入前從晶片中去除不需要的顆粒。其能量穩定劑確保了可靠的植入能量,以實現良好的劑量控制。350DE配有先進的控制結構和離子束的三維視圖,以獲得最高的精度和最佳的劑量。其集成控制系統使用戶能夠快速訪問和操作植入參數。它還具有強大的數據記錄系統,可以存儲來自各種植入物和操作的數據。總體而言,VARIAN 350DE離子植入器和監控器為中大容量半導體加工應用提供了一個強大而可靠的解決方案。它具有可靠的操作、可重復的植入過程和先進的監控功能,以確保產量最高。它還提供出色的數據收集和管理功能,以支持用戶的生產需求。
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