二手 VEECO / DEKTAK RF350 C2 IBE #9124214 待售
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已售出
ID: 9124214
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1997
Ion beam etcher, 6"-8"
Process modules transport module systems include:
BROOKS Automation robot wafer handler system
Loadlock A & B
Electronics cabinet contains:
(2) APC 450 UPS
Raritan compu-switch
Industrial PC
(2) LEYBOLD INFICON IG3 Vacuum gauge controllers
LEYBOLD NT20 Turbovac controller
(2) SORENSEN DCS60-18 Power supplies
SORENSEN DCS20-150 Power supply
SPELLMAN SL300 Power supply
SPELLMAN SL1200 Power supply
Process modules include:
LEYBOLD MAG2000 Turbo pump & controller
CTI Onboard cyropump with fastregen sputtering module
CTI 9600 Compresser
RFPP AM-10/20 Auto matching network
ADVANCED ENERGY RF10M / RF20M Power supply
CTI Onboard controller RF matching network monitor
ADVANCED ENERGY RF-20MWC RF Generator
Main power distribution panel: 208V,100A
1997 vintage.
VEECO/DEKTAK RF350 C2 IBE是一種用於制備和表征先進材料表面的離子銑削設備。適用於薄膜的計量、失效分析和平面化，以及許多其他應用。該系統利用聚焦的高能離子束磨掉材料表面。最大可容納350毫米的有效載荷,允許對各種尺寸和形狀的樣品進行銑削。該單元有一個自動控制機器,它使用戶能夠為銑削過程定義所需的參數。計算機控制的界面允許在兩個運動平面上方便地操縱離子束。它還允許在樣品的表面上創建復雜的銑削特征。該工具配備了高分辨率數字圖像/視頻資產,用於獲取銑削表面的圖像/視頻。該型號具有先進的安全特性，例如互鎖設備，它可以防止系統在打開腔室時運行。它還包含一個緊急停止按鈕。該單位符合環境安全和能效行業標準。氣體輸送機的設計旨在提供對氣體流動和顆粒產生的精確控制，並確保最小的廢物。此外,該工具還利用了先進的水冷設備,可最大程度地減少功耗並降低噪音水平。該模型還集成了全自動等離子清洗設備。這樣可以在銑削前清除表面汙染。它還能夠對腔壁進行化學清洗，以確保被銑削樣品的表面質量。總體而言，VEECO RF350 C2 IBE旨在提供高效、準確的表面制備和表征系統，同時還提供最大限度的安全和保護環境。該單元是計量、故障分析、薄膜平面化等多種應用的理想解決方案。
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