二手 CANON PLA 501 #293643206 待售

CANON PLA 501是用於制造半導體器件的器件。它是一個遮罩對齊器，它是一個工具，用於在目標基板上精確定位一個光掩罩圖案，使圖案的部分可以聚焦，然後暴露在光線下。這可以使模式與正在生產的半導體器件精確對齊，從而帶來更高的產量和更好的性能。CANON PLA-501是步進器，意味著它使用步進重復技術來精確對齊和聚焦光掩模圖案。它具有1.5µm的最大對準精度，10°的最大釋放角，10mmø的最大場大小。它既配備了遠心光學系統，又配備了多邊形鏡面掃描儀，既具備高精度，又具備過采樣能力，即使放大倍數也能帶來更好的圖像清晰度。激光源平均輸出450mW，電壓範圍為10.5V至12V，適用於近紫外線和可見絕對曝光。PLA 501是一個高度自動化的系統，具有可編程的數字過程控制器和用於深入過程分析的監控系統。用戶界面對用戶友好且非常直觀,具有用於更改參數、監視進程中數據、運行診斷程序和管理用戶帳戶的簡單控件。軟件架構分為三個主要模塊，由流程模塊、操作模塊和維護模塊組成。PLA-501設計用於清潔環境中，如許多面罩對齊器。該裝置內置濾波器和擋板，以及專門設計的噪聲和減振系統，因此可以在對環境幹擾最小的嚴格清潔室中使用。為確保設備的平穩安全運行，佳能提供了廣泛的消耗性產品，如光刻膠、清潔劑、透鏡維護液等。CANON PLA 501廣泛應用於半導體行業，以其卓越的精度、速度、可用性和可靠性與競爭對手脫穎而出。憑借其緊湊的尺寸和先進的技術，它可以滿足最苛刻的制造要求，並可用於多種應用，如薄膜晶體管、密密麻麻的內存技術、光電子等。