二手 CANON PLA 501 #293644254 待售

CANON PLA 501是一種蒙版對準器，設計用於需要高分辨率、精確的蒙版對準的光刻應用。該系統設計用於高精度地自動對準光掩模，為敏感的光掩模圖案提供了高度的精度。它由一個X-Y軸對準表、一個雙光學顯微鏡、三個標線和一個帶有長工作距離成像透鏡的投影單元組成。X-Y軸機器人對準臺驅動兩個棒級，每個級攜帶標線和基板，分辨率為0.001 mm。這為用戶提供了精確對齊多個基板和標線而不會在基板或標線位置引起任何變形的能力。此外，對齊臺還具有舞臺運動穩定性，可實現高精度光刻曝光而不會產生振動。對雙光學顯微鏡進行了優化，使其能夠準確可靠地對準標線和基板。它由高放大倍率的光頭組成，變焦範圍可達30X。顯微鏡配有雙光纖光源，可調曝光控制，可通過專用USB端口輕松連接到個人電腦進行遠程控制。三個標線各包含具有所需圖樣的光掩碼。每個蒙版都是為定義最終要打印的設備的形狀和材料而設計的。最常見的標線類型是二元相移掩碼、衰減相移掩碼、交替孔徑掩碼和無像差掩碼。投影單元配有長工作距離投影鏡頭，提供蒙版上的圖案暴露在基板上。它配備了曝光控制系統（曝光控制範圍為0.05-32秒），快門速度高達1/1000秒，這使得可靠且可重復的模式傳遞具有高分辨率。總體而言，CANON PLA-501是一種非常精確可靠的掩模對準器，適用於高精度光刻應用。它具有很高的分辨率和準確性，能夠以最小的失真將精確的圖樣轉移到基板上。