二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9159537 待售

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ID: 9159537
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一種先進的、高度精確的自動光刻設備,用於將半導體圖樣對準和處理到矽片薄片上。該系統非常適合面罩制造和晶圓逆向工程等應用,僅舉幾例。MICROTEC MA150配備了先進的激光光學單元,使其能夠實現小於0.5%的尺度因子和失真誤差,同時提供極其精確和高分辨率的成像。此外,該計算機還具有與Microsoft Windows兼容的用戶界面,使用戶能夠輕松地控制工具的精確對齊和晶圓陣列。KARL SUSS MA 150的對準單元有各種特點,例如集成的自動對焦機制,確保掩模相對於晶圓的精確定位,以及使用先進的6步調整資產,如果需要可以用來微調和調整對準。該模型還帶有強大的對齊搜索引擎,可用於快速計算和驗證掩模和晶圓之間的正確對齊。談到制圖單元,MICROTEC MA-150配備了大功率激光源、用於精確掩模和晶圓運動的掃描頭,以及多種先進的掩模。這種特性的組合使設備能夠以高精度和高分辨率將圖樣成像到晶片上。該系統能夠成像最小線寬4微米、最小CD(臨界維度)0.2微米的圖樣。在連接方面,MA150可以輕松連接到其他外部設備。它與多種常用的軟件包兼容,如GDS(圖形設計系統),以及與許多較常見的半導體處理工具,如焊接和電鍍系統。總體而言,MICROTEC MA 150 Mask Aligner是一個最先進的單元,它甚至滿足了最苛刻的半導體行業應用的要求。其先進的對準單元、強大的陣列功能以及與其他外部設備的輕松連接能力使其非常適合在一致的基礎上生產高質量的矽片。
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