二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #60054 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 24是為各種光刻應用而設計的自動化掩模對齊器。這臺機器設計得非常精確，能夠達到0.25 µm以下的分辨率。它配有光學照相機，用於以高精度評估掩模與基板之間的對準。MICROTEC MA 24包含了一系列廣泛應用的功能,例如步進對齊控制和手動對齊校正。要開始對準過程,KARL SUSS MA 24會收到放置在機器支架中的基板。基板可以由矽、二氧化矽、玻璃等多種材料組成，而持有者的尺寸設計為適應各種基板尺寸。裝載基板後，將掩模放置在掩模托架中，然後以與基板完全對齊的方式插入掩模定位階段。然後,MA 24在開始標線傳輸過程之前運行一個簡短的掩碼對齊過程。標線傳輸過程需要KARL SUSS/MICROTEC MA 24使用包括LED、弧光燈、貝塞爾光束、激光投影系統在內的多種先進光學器件，將掩模的圖案精確地傳遞到基板上。這些光學元件結合了步進對準控制，可以非常精確地將標線放置在基板上。MICROTEC MA 24還包括一個手動對準校正功能，允許用戶改變屏蔽在基板上的對準，以便更準確地放置標線。結晶體轉移過程完成後，KARL SUSS MA 24進入固化階段，通過固化抗蝕劑材料將轉移的圖樣永久轉移到基板上。MA 24可以配備UV固化燈或熱板，具體取決於當前應用的要求。最後，在圖樣固化後，可以將機器設置為通過重復對齊過程將另一個掩模對齊到同一個基板上，而無需移除基板。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC MA 24是一種高度精確的掩模對齊器，專為各種光刻應用而設計。其先進的光學和對準特性允許高度精確的標線放置到基板上，其固化特性確保圖樣永久固定在基板上。機器能夠重新加載以前對齊中使用的相同基板,從而節省了處理時間並提高了效率。