二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9082394 待售

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ID: 9082394
晶圓大小: 4"
Mask aligner, 4" 6" Capable (With kit) Topside alignment / Exposure only With 1000W lamp Split field microscope Power supply: 350 / 500 / 1000.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一款高性能、頂級的掩模對齊器。它的特點包括模塊化設計、自動化編程和對齊,以及一系列令人印象深刻的光學、檢測系統和工程級組件。MICROTEC MA6提供了大量的對準類型,包括光學對準、接觸對準、納米對準和蝕刻對準。KARL SUSS MA-6的對準精度非常精確,配準在3微米以內。這為各種應用程序提供了額外的精細齒輪陣列、線寬和陣列對齊要求。MICROTEC MA 6配備了10倍物鏡變焦鏡頭和4倍物鏡變焦鏡頭等多種光學元件。它從晶片到光學元件的工作距離也是可調的,使其能夠進行接觸對準。利用光學顯微鏡,它能夠復制高度或直徑小至30微米的特征。MICROTEC MA-6還具有多種檢測系統,可確保精確的模式對齊。例如,它的紅外相機使用LED燈進行微探測和超靈敏對準,最大分辨率為6微米。為確保最大精度,KARL SUSS MA 6采用工程級組件。它由200瓦照明器提供動力,步進電機的速度高達20毫米/秒。除了自動編程、立體聲顯微鏡和其他分級系統外,您還可以確保超精確的模式對齊。MA 6掩模對準器可在3微米內精確度執行多種不同的對準類型。它采用模塊化設計,並采用復雜的光學、檢測系統和工程級元件陣列,為超精細齒輪陣列和陣列對準解決方案提供了無與倫比的精度。
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