二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9229809 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 6
ID: 9229809
晶圓大小: 6"
Mask aligner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種用於高精度制造集成電路的掩模對準機。它是一種自動設備,可以將光掩模精確地對準半導體晶圓並制作圖樣。它是一種先進的技術,用於制造半導體元件的過程中。MICROTEC MA6具有6英寸圓對準系統和6微米分辨率。自動對準單元用於精確定位和對齊光掩模。該機具有6英寸直徑、高精度5軸運動控制以及用於監控光掩模對準和圖案的集成3-D顯微鏡。KARL SUSS MA-6還具有高精度的高速曝光工具,它可以曝光掃描速度高達2000線/秒且線寬分辨率小於5微米的晶圓。曝光資產還提供自動光阻檢查和對準系統,以及自動優化曝光強度、圖案精度和均勻性。MICROTEC MA 6具有專為多掩模光刻設計的高精度軌道模型。軌道設備提供快速的舞臺運動和均勻的溫度分布,以確保曝光過程中的最高精度。KARL SUSS MA6還有一個高級軟件包,可以為各種不同的應用程序定制。它具有用戶友好的圖形用戶界面、通過網絡輸入和輸出的數據以及為以後的運行保存設置的能力。KARL SUSS/MICROTEC MA-6是一種先進的用於制造集成電路的掩模對準機。它可以將一個光掩模精確地對準和制圖成半導體晶圓,同時還提供6微米分辨率的6英寸圓對準系統、高精度的5軸運動控制、高精度的高速曝光單元以及先進的軟件包。KARL SUSS MA 6在制造集成電路的過程中提供了最高的精度和精確度。
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