二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9182874 待售

看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。

ID: 9182874
Mask aligners Hard-contact mode.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是用於制造集成電路的最先進的掩模對準器。它旨在提供高精度和靈活性。這是一個全場光學遮罩對準與5µm分辨率,低熱漂移和步進和重復對準設備。MICROTEC MJB3工具具有具有多基板處理功能的7軸機器人對準系統。該設備在封閉環境中運行,可容納200 mm以下的晶圓尺寸。真空卡盤能夠保持0.003「至0.075」的晶片厚度。KARL SUSS MJB3的自動對準機允許精確的現場對準生產。KARL SUSS/MICROTEC MJB3的自動對焦工具自動調諧對準,以補償變化的晶圓和基板厚度。軟件根據用戶設置調整對齊設置,並提供晶圓和掩碼對當前設置的直接反饋。KARL SUSS MJB 3還配備了先進的傾斜泛化和圖像的拉伸或移位,使掩模與晶圓精確對齊。MICROTEC MJB-3具有一種新的高速曝光資產,具有可自定義的曝光參數。曝光模型基於紫外線光源,在9.5英寸x 9.5英寸的磁場尺寸上提供線性紫外線曝光。集成的實時反射計監視曝光強度和設置,並在相應調整曝光時間的同時中繼此信息。KARL SUSS/MICROTEC MJB3還配備了各種安全特性和內置傳感器。激光測光儀測量能量密度時不會中斷工作流,確保永遠不會超過能量水平。MICROTEC MJB 3的人員聯鎖和閃存驅動器訪問控制限制了對對齊站的訪問,以提高安全性。總之,MJB3是集成電路生產中高精度、高靈活性的絕佳選擇。其先進的對準設備、紫外線曝光和安全特性使KARL SUSS MJB-3成為要求苛刻且不斷變化的集成電路行業的理想選擇。
還沒有評論