二手 KLA / TENCOR 2135 #9004617 待售

KLA/TENCOR 2135是一種先進的掩模和晶片檢測設備，用於識別、分析和校正圖樣掩模和晶片中的缺陷。該系統具有用於缺陷管理和過程優化的自動化單元,可實現最高級別的制造吞吐量和過程穩定性。KLA 2135機器配備了高分辨率、先進的成像工具，例如一臺2千像素成像相機，可以捕捉到口罩和晶片上圖樣的圖像。它能夠同時檢查多達200個掩模和200個晶片,並具有高靈敏度分辨率和審查功能。其強大的軟件使其能夠以無與倫比的準確度快速檢測、分析和報告缺陷和其他異常。該工具可以檢測和隔離單個斷裂和短褲等小缺陷,以及侵入性物體、顆粒、劃痕和圖案不對齊等較大特征。它還為掩模和晶片檢查提供了多種特殊功能，例如能夠連接到CMP（化學機械拋光）機器，對平面化過程進行現場測量和監測。TENCOR 2135資產還提供了一套檢查、DRC/LRC和表征功能,可以更清楚地了解整個過程。這些功能可用於在提交到光掩碼或晶圓之前檢測模式中的任何異常,從而確保產品的整體質量。該模型還能夠比較多個光掩碼和晶圓以檢測掩碼方案差異,同時生成通過/失敗報告。2135是尋求實施提供自動化缺陷管理和過程優化的高性能掩碼和晶圓檢測系統的制造商的理想解決方案。其強大的軟件和先進的成像技術提供了最高水平的準確性和吞吐量,使制造商能夠在生產過程中實現更高的效率和成本節約。