二手 NANOMETRICS NanoSpec M-210 #121797 待售

NANOMETRICS NanoSpec M-210是為半導體元件的自動化過程控制和評估而設計的高精度掩模和晶圓檢測設備。該系統配備了明場光學顯微鏡和廣泛的照明源、探測器和光電倍增管陣列。它可用於測量各種成像特性，包括晶圓表面地形和臨界尺寸、接頭深度、缺陷和汙染。該單元由兩個階段組成：掩模階段和晶圓階段。在掩模階段,機器對掩模進行暗場照明,以實現線條和空間之間的對比,並精確測量臨界尺寸。該工具還執行白光橫截面顯微鏡，精確檢測包括線寬粗糙度、形狀和形狀細節等缺陷，以及顆粒沈積和晶圓經紗等其他缺陷。在晶片階段，該資產以較高的分辨率進行亮場顯微鏡分析晶片輪廓，精確測量到納米尺度的臨界尺寸。NanoSpec M-210具有幾個便於操作的功能,包括用於聚焦控制高分辨率成像的可變形鏡像、用於精確對齊的雙壓電驅動級以及用於缺陷自動分類的自動特征識別。此外,該模型還提供了廣泛的自動化計量功能,如配置文件、邊緣檢測和2D/3D可視化。此外，該設備還提供一系列先進的數據分析技術，以進行地形測量、缺陷密度和均勻性檢查，以及查明趨勢和驗證工藝結果。NANOMETRICS NanoSpec M-210是一種可靠、健壯且經濟實惠的光學和電子元件組合,能夠以緊湊的外形尺寸實現高度精確和可重復的結果。它非常適合用於半導體行業,在半導體行業中,過程需要對設備的不同層和組件進行關鍵的一致分析。該系統能夠以高精度和精確度測量非常小的細節，不需要人工檢查。