二手 ZYGO NewView Maxim GP #156895 待售
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單擊可縮放
ID: 156895
Interferometer
Nikon Objective 2.5 TI/0.075
Electronic Enclosure
5 Axis Stage Drive
(2) CRT Monitors
PC Unit
Power Supply
Cables
Measurement Technique:
Phase Modulated/Phase Shifting.
Part Viewing:
Real-time Video Monitor
Focus Control:
Coarse Wheel - 22 mm/turn, with tension adjust
Medium Knob - 4.7 mm/turn, with tension adjust
Fine Knob - 0.2 mm/turn
Vertical Travel:
5.1 in. (130 mm)
Objective Mounting
Single dovetail mount,
Camera Size:
Up to 640 x 480 pixels
Electrical:
Incoming Power from Electronic Enclosure
Operating Environment:
Temperature: 15° to 30°C (59° to 86° F)
Rate of Temperature Change: <1.0°C/15 minutes
Humidity: 5 to 95% relative, noncondensing
Vibration: Frequency Isolation - 1Hz < freq < 120Hz
Performance:
Vertical Resolution: 0.1 nm
Maximum Vertical Step Height: 100 turn
Vertical step height: 100 microns.
ZYGO NewView Maxim GP是一款綜合性的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足半導體行業的嚴格要求。該系統旨在測量高通量環境中掩模或晶片樣品的快速變化參數。該單元圍繞一臺強大的激光幹涉儀和一臺數字成像機建造，兩者均可精確控制和容易校準。激光幹涉儀通過測量樣品上各點之間的高度差來評估樣品的三維微觀結構。這樣可以在廣泛的樣本量範圍內精確測量臨界特性,如線寬和圖樣保真度。然後，工具的數字成像組件使用顏色編碼的叠加來評估其他屬性，如能量吸收和光透射率。資產包括各種設置，以優化不同類別的樣品的檢驗過程。其中包括入射角、光束放大倍率和焦點深度的調整。此外,用戶還可以調整給定樣本所需的強度或相關性程度。ZYGO MAXIM GP包括高級軟件工具來分析從每次檢查中收集的數據。該軟件便於比較不同類型的樣本、過程和儀器的結果。它還具有復雜的分析工具,如FFT和叠加,使操作員能夠快速識別樣本上的缺陷。該模型的設計註重安全性和便利性。防護罩保護操作員免受激光/光束輻射的影響，並定期通過互鎖和外部傳感器測試設備的安全性。機器的所有組件都易於訪問,可以快速卸下以進行維護或更換。此外，系統設計速度快、效率高，平均掃描時間不到一分鐘。NewView Maxim GP是一個先進而全面的掩模和晶圓檢測單元，在高吞吐量條件下提供卓越的數據精度和穩健的性能。它的高級組件提供了卓越的成像功能,能夠快速、精確地測量樣品的關鍵參數。此外,其優化的特性、安全特性和易用性使其成為尋求快速、準確和可靠檢測的半導體行業專業人員的理想選擇。
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