二手 EPI 930 #9171186 待售

EPI 930是由Riber, Inc.製造的分子束外延（MBE）設備。它是一種多柱高真空處理系統，能夠以最高的質量和極高的精度生長外延材料。它通常用於制造集成電路、太陽能電池和其他光電器件。930具有六列或「海鷗翼」布局,使其非常適合多層生長,如超晶格或異質結構。柱子的位置使得各種積液池、源、槍、閥都集中在單元中央。這使得所有試劑都能以最小的損耗通過平行路徑到達底物。這又使用戶能夠發展各種材料,如GaAs和InP。該機器具有高真空環境（<1E-9毫巴）,並使用由冷陷阱和離子吸收器支撐的渦輪分子泵不斷過濾和調節。這使得盡可能清潔的增長環境能夠最大限度地提高質量和精度。此外，遠程腔室底壓監測器可確保平衡壓力始終保持不變。此外，在EPI 930中集成了低速多晶矽源，以更好地控制生長層的背景摻雜。為控制溫度和促進生長，930具有低熱質量電子束蒸發器、鎖載晶片加熱器和氣體劑量工具。鎖載晶片加熱器與基板直接接觸，保證精度和均勻加熱。它能夠承受高達700 °C的溫度，允許用戶生長各種半導體、金屬和合金。此外，一個集成的軟件控制器允許從一個單一的中央控制臺容易和精確的操作試劑。這樣可以降低操作成本和減少材料浪費。此外,EPI 930資產建立在無振動的空氣浮動基礎上,可防止任何基於運動的錯誤。這使得精度和產量達到最高水平。總體而言,930是一種先進的多列MBE模型,能夠制造高精度集成電路、太陽能電池和光電器件。這種設備能夠以極好的精度和較低的操作成本制造各種材料。