二手 VARIAN / VEECO GEN II #9205114 待售

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ID: 9205114
晶圓大小: 2"
MBE System, 2" Sources: 2.75" Flange Wagon wheel prep chamber: Auger analysis Out-gassing: Auxiliary chamber Manual valve arsenic cracker Sources: Al, Ga1, Ga2, In Si & Be Dopant sources Functional rheed and QMS (3) Ion pumps Used for InAlGaAs Cryo pump and compressor Ti ball pump Bake out panels Load lock: Turbo pumps Scroll pumps.
VARIAN/VEECO GEN II是一種分子束外延(MBE)設備,為納米級材料的沈積和表征提供卓越的性能和多功能性。MBE利用高度控制的環境,以原子尺度精度蒸發和沈積材料薄膜,使其成為制造光電、磁和半導體結構的首選技術。VEECO GEN II MBE系統包括一個超高真空室和一系列沈積源,可用於薄膜沈積物料的輸送。傳遞可以通過熱蒸發或電子束輔助蒸發,以及化學束外延(CBE)來實現具有多種元素的復雜溶液的生長。通過低能離子束可以達到高速率致密,而通過離子轟擊濺射可以達到超高純度。VARIAN GEN II以雙源配置構建,以支持最多四層系統的沈積。該單元也足夠強大,可以容納多達六個沈積源,從而能夠沈積復雜的結構。此外,該機器還包括一個自動氣體輸送工具,可用於在沈積過程中添加不同的氣體,如氧氣、氮氣和碳。GEN II強大的控制軟件意味著它可以實現極其精確的均勻性和對沈積過程的控制。控制軟件可以對每個工藝的精確參數進行編程,從而完全控制復雜的納米結構。此外,它還配備了一系列先進的原位表征能力。這包括一個光譜儀和量子效率檢測器,可以用來測量沈積材料的厚度、組成和性質。VARIAN/VEECO GEN II是先進的MBE資產,非常適合光電、納米電子、納米光子等領域的研發等先進應用。該模型提供卓越的性能和多功能性,使精密納米結構的制造具有原子尺度精度。
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