二手 VARIAN / VEECO GEN III #9196890 待售

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ID: 9196890
MBE System (3) Wafers: 2" Single: 4" Single: 3" Single: 2" / 3 x 2" 1999-2002 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III分子束外延(MBE)設備是納米級薄膜材料沈積最先進的系統之一。該系統使用三種不同外延生長源的組合:兩種低能電子束蒸發器和一種超高真空破碎真空源。它旨在提供比傳統的MBE系統高兩個數量級的增長率。此外,VEECO GEN III對每個源具有卓越的溫度控制和精確度,可實現更高的增長率、更高的保形性以及微調生長過程的能力。該單元還配備了一系列的測量和監測能力,包括原位反射和反射高能電子衍射(RHEED),以及使用微拉曼、掃描電子和原子力顯微鏡的綜合分析。此外,一套軟件工具允許工程師監視和管理增長過程的各個方面。VARIAN GEN III還提供各種底物和惰性氣體,使用戶能夠在成分和特性方面創造出廣泛的材料。這包括III-V化合物,以及氧化物、氮化物和氧硝化物。此外,GEN III的先進溫度控制能力允許兩種材料在順序生長過程中並行沈積,每種材料的溫度不同,從而提供了多級器件制造。VARIAN/VEECO GEN III分子束外延機的MBE生長過程與先進的測量監測能力相結合,使其成為現有最強大的薄膜材料生長系統之一。它能夠生產具有廣泛特性的材料,從薄膜到由不同材料組成的三維裝置。
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