二手 AKT / MKS Astron HF #293608394 待售

ID: 293608394
Remote plasma generator.
AKT/MKS Astron HF是一種最先進的晶圓處理設備,可用於多種應用。這種多功能解決方案提供了先進技術和簡單操作的獨特組合,讓用戶在半導體器件制造過程中達到了最高的精度和質量。該系統由高度先進和可靠的光刻單元AgileMask (TM)光刻站供電,可用於生產用於制造下一代半導體器件的高精度晶片。利用單級航空成像機,連同一個申請專利的掃描鏡,這種工具可以產生極精確的模式,分辨率高達2微米。該資產具有ASML掃描儀,能夠進行高吞吐量和高分辨率掃描,從而實現高效可靠的生產。AKT Astron HF還包括一個頂端電子束和塗層模型,能夠產生超細粒度晶片表面和高分辨率薄膜沈積。該設備采用雙電子束系統,保證了高精度的圖樣和塗層,以及極快的電子束加速度和減速。與光學周期拋光裝置(OPPS)結合使用,這臺機器可以產生超均勻且無缺陷的亞微米分辨率模式。MKS Astron HF除了具有核心處理功能外,還具備一系列自動化功能和高級軟件功能。通過其專用的晶圓匯報軟件,用戶可以輕松監控和報告整個處理周期,使他們能夠優化自己生產線的性能。此工具還具有集成的Autotuning資產,可自動調整操作參數以最大化吞吐量。最後,該模型由集成控制器支持,它允許遠程訪問和數據管理,以及使用遙控輸出。總體而言,Astron HF為用戶提供了一種功能強大、精密的晶圓處理設備,它結合了先進技術和易於操作。利用這一系統,用戶可以在半導體生產過程中獲得最高的精度、質量和吞吐量。
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