二手 APL ADS-200 #9280974 待售

APL ADS-200是先進的外延沈積晶片加工設備，用於先進的研究設施和實驗室。其設計允許高生產率和精確控制可重現的結果。該系統的主要部件是沈積室、熱板、泵和排氣以及晶圓傳輸機構。該室配有加熱邊緣單元和精確控制沈積速率的機構。加熱機確保薄膜在薄片和薄片上均勻沈積。腔室溫度可以在很寬的範圍內調節，從而可以精確調整被沈積材料的性能。排氣工具是為最大效率和最小粒子產生而設計的。熱板具有可調的溫度範圍，能夠制備均勻的外延沈積基板。也可用於沈積後熱處理或薄膜膠帶的制備。晶圓傳輸資產可自動將晶圓加載到腔室。它專為高吞吐量而設計，一次最多可容納50個晶圓。該模型易於使用,允許使用控制器和軟件實現自動化。控制器支持手動和自動操作。在手動模式下，可以直接設置沈積速率、溫度、厚度等參數。在自動模式下，最多可定制八種不同的化合物和元素沈積配方。這允許用戶預先確定他們計劃應用到晶片上的薄膜特性。ADS-200是一種高度可靠和堅固的設備,旨在在一系列研究和實驗室環境中實現最佳性能。它具有廣泛的無與倫比的控制和精度，是高級晶圓處理任務的理想工具。