二手 GRANVILLE PHILLIPS 330 #9094144 待售

GRANVILLE PHILLIPS 330
ID: 9094144
Ionization gauge controller.
GRANVILLE PHILLIPS 330是為最佳薄膜晶片處理而設計的最先進的晶片處理設備。它采用氣箱設計,保證了精密薄膜性能的卓越壓力和溫度控制。該設計還允許在整個蝕刻過程中方便地訪問晶圓表進行快速采樣,並能夠逐步調整小至0.2埃的蝕刻深度。330包括一個可編程的高頻射頻發生器,可確保可靠的薄膜質量在功率級別6kW。該系統還具有用於精確溫度測量的低壓高溫計,以及壓力範圍為10-7 Torr的真空單元。射頻發生器和晶圓表都是可調的,以確保晶圓的最佳精度和良好的均勻性。該機的光機械級和軟件為均勻蝕刻和精確配準提供了優越的晶圓對準。軟件可以升級以支持額外的晶圓格式,因此GRANVILLE PHILLIPS 330可以用於不同類型的處理。該工具還允許批量處理,以更高的效率節省時間和金錢。330是為最佳安全而設計的,具有多種安全系統來保護操作員和基礎設施。外部氣體供應資產(EGSS)確保在發生電源故障時不會有危險氣體進入腔室,而安全互鎖模型則在活動設備和用戶之間形成關鍵的屏障。該系統還配備了水流監測儀和緊急情況自動關機機制。GRANVILLE PHILLIPS 330是一款先進的晶片處理裝置,設計用於生產性能一致的高品質薄膜晶片。其精確的特性和眾多的安全系統使其成為實驗室和工業應用的理想選擇。此外,它處理多種格式的能力和批處理功能使其成為行業用戶的一個有吸引力的選擇。
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