二手 KLA / TENCOR SFS 7700 #9137304 待售

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KLA / TENCOR SFS 7700
已售出
ID: 9137304
Surface scanner.
KLA/TENCOR SFS 7700是一種功能強大的晶圓測試和計量設備,用於測量和分析半導體晶圓上的各種制造參數和缺陷類型。它使用自動光學檢查和工藝測量來提供晶圓性能的綜合畫面。該平臺利用先進的光學、算法和傳感器來測量晶片和光刻膜的物理和電氣特性。KLA SFS 7700有兩個驅動組件-硬件和補充它的軟件工具套件。該平臺的硬件能夠對直徑達300 mm的晶片進行成像,並具有8736個可獨立控制的上下表面像素。該系統還具有高速級,以精確的方式移動晶片,並允許快速晶片掃描。該單元還包括用戶界面、全數字顯微鏡和彩色非接觸顯示器。這臺機器采用了一套軟件工具來分析晶片並檢測任何潛在的缺陷或不規則性。軟件套件包括線晶片特征工具、金屬層檢查工具、彩色劃痕檢測工具和粒子檢測工具等。這些工具分析了各種制造參數,如晶圓厚度、反射率、線寬變化和薄膜均勻性。該工具還提供集成的自動缺陷診斷資產、陰影和粒子成像模型、叠加測量設備以及平坦度測量系統。TENCOR SFS 7700還提供全面的服務包,包括客戶支持和培訓。這包括一組技術支持、培訓和應用程序工程師,他們可以協助設備的設置、維護和故障排除。通過各種文檔和在線資源提供額外支持。總體而言,SFS 7700是一臺先進的晶圓測試和計量機器,旨在提供準確、可靠和可重復的測量和分析。適用於廣泛的晶片基產品的生產制造。
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