二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9215560 待售

ID: 9215560
晶圓大小: 8"
PI Coater, 8" Operating system: Windows XP I/O Robot movement: I/O Module User interface: Tri-color lamp tower Audible alarm Keyboard Trackball Wafer handling: (4) Cassettes (Input port) Handling robot Pre-aligner Coating module: Arm movement Chuck spin Lift pin movement Weight scale Chemical dispense Lift pin movement: Temperature module Cooling module Utility: N2: 3.5 bar CDA: 4 bar Vacuum Power: 3 x 400 V +6% - 10 % +N + PE 50 Hz.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款先進的光阻設備,使用戶能夠在其原型上創建微米級結構。這種超精密的光刻技術能夠產生尺寸降至0.4微米的高分辨率特征以及高達50微米的厚度。MICROTEC Falcon的高級系統包含了高分辨率相片打印單元、集電極、加熱支撐臺、舞臺調平機和口罩對齊工具等諸多功能。隨附的照片打印資產使用戶能夠獲得精確、高分辨率的圖像,尺寸可降至0.4微米。電源收集器是一種集成設備,可幫助確保整個過程中的曝光和開發水平保持一致。該模型還包括一個集成的加熱支撐級,確保最佳的質量模式和最小化圖像失真。此外,階段調平設備允許用戶在整個樣品表面調整掩模元素的對齊方式。最後,掩碼對齊系統有助於確保掩碼元素在整個樣品表面保持精確對齊。KARL SUSS Falcon除了具有光刻能力外,還能對基板上的圖樣進行蝕刻和金屬化。這允許用戶將他們的圖樣傳輸到各種表面,包括玻璃、磁帶或鈑金件,用於各種應用程序。蝕刻和金屬化工藝經常與光刻結合使用,在基板上創建三維結構。Falcon是先進的光刻單元,非常適合精確創建微米級結構。它的特點包括高分辨率照片打印、電源收集器、加熱支撐臺、舞臺平整機和口罩對齊工具,使用戶能夠以最小的失真實現最佳的質量模式。它的能力超越了光致抗蝕劑,能夠將圖樣蝕刻和金屬化到各種基板上,用於各種各樣的應用。
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