二手 KARL SUSS / MICROTEC M 2000E #9316057 待售
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ID: 9316057
Developer system
Type: 3-Track positive developer
Electronic cabinet
Temperature control cabinet
Operation manual
Technical documentation
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC M 2000E是一種光刻設備，用於創建亞微米結構。該系統由三個主要組成部分組成：一個散熱器、一個旋流器和一個數字成像單元（單色、彩色、紫外線、熒光和紅外）。用清水機將光刻膠分配到基材上並進行圖樣繪制。該spincoater用於均勻地將光刻膠分布在基板表面，並將光刻膠引導到適當的形狀。數字成像機提供的分辨率遠遠優於非光刻系統，並允許廣泛的分辨率和檢查選項。MICROTEC M 2000E提供了生產小於0.2 µm的特征尺寸的能力,可以根據應用要求進一步調整。它提供各種照明選項，如單色光、彩色光、紫外線、熒光照明和紅外成像。除了各種照明選項外,KARL SUSS M 2000E還提供多種光刻膠,如陽性光刻膠、負性光刻膠、去除劑型和多重曝光光刻膠。此外,該工具能夠以高達每小時1,000晶圓的生產率生成高吞吐量批次。這有助於改善生產周期並降低制造過程的成本。此外,它與2到12英寸大小的晶圓兼容,並具有全自動晶圓處理資產,可實現無應力操作。M 2000E除了具有創建亞微米結構的能力外,還具有自動對焦和對焦偏移功能,提供無與倫比的精度和準確性。它還包括一個快速尋址的晶圓映射模型，幫助確保準確和可重復生產的小功能，你可以引以為傲。最後,KARL SUSS/MICROTEC M 2000E光刻設備提供了精確度、精確度、吞吐量和成本效益的強大組合。
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