二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9015890 待售

KARL SUSS/MICROTEC RC8是一種光阻設備，能夠制造高度復雜的微電子零件和結構。該系統基於階梯式灰度（SGS）成像技術，利用光幹涉將樹脂暴露或抵抗材料與一組復雜的灰色調形成精確的圖案。MICROTEC RC 8旨在與各種光刻膠配合使用。它可以與標準的負極或正極極化膜一起使用，以及液體噴射和分配的抗蝕劑。此外，該裝置使用低溫工藝將抗蝕劑塗在基板上，確保抗蝕劑的聚合物和粘附性能完好無損。該機采用直接寫入光刻頭，可提供300 W/cm2的伽馬輻照度，空間分辨率低至5 µm。KARL SUSS RC 8支持最大400 x 400 mm的基板尺寸,Z軸分辨率可提供-3至+25 mm的工作範圍。成像過程包括四個階段：預曝光、後曝光、蝕刻和烘烤。這些階段由用戶友好的圖形界面管理。RC8在操作上既能達到高精度又能達到速度。它能夠處理多達3000個晶片/小時,並自動調整輻照度和曝光時間以獲得最佳結果。該工具還將識別和消除缺陷，以確保從光掩模過程中獲得高收率。此外，KARL SUSS/MICROTEC RC8具有多種先進的特性，如溫度補償和光束整形，以實現高度精確的曝光控制。該資產還支持高級非接觸電阻，用於極薄層電阻應用。MICROTEC RC8是一種綜合光阻模型，為復雜的微電子制造提供了顯著的效果。它是高端微電子生產的理想解決方案，其創新的設計和特點確保了可靠的產量。