二手 SEMITOOL 240 #85328 待售

SEMITOOL 240
製造商
SEMITOOL
模型
240
ID: 85328
SRD with rotor.
SEMITOOL 240是一款光刻設備,設計用於制造先進的半導體芯片、晶體管和其他類型的集成電路。它被設計成一個高精度、自動化的系統,能夠產生一致和可重復的結果。該單元配有光敏室,抗蝕劑輸送機允許在基板上應用均勻一致的光敏膜。此外,激光光學對準器允許對基板進行精確和可重復的光刻模式。光致抗蝕劑也暴露在高強度光源下。這種輻照可以配置成高分辨率、高劑量精度和可重復性的模式。240還配備了「上拉」工具,用於最大限度地提高整個光刻過程的過程穩定性。該資產精確控制光刻膠模型內的溫度、濕度和壓力水平。此外,它還配備了集成的溫度控制設備,可確保光刻室內的溫度在耐火條和烘烤周期內保持恒定。SEMITOOL 240具有優異的可靠性和可重復性。該系統的設計目的是在電介質常數、擊穿電壓和功耗等大範圍的電氣參數上提供出色的模式精度。該單元還利用一個精密的光源,可以產生高劑量精度和最小像差。240的整體整合特性允許減少光刻循環時間。此外,使用照片堆叠模式允許在一次運行中執行多個陣列步驟,從而實現更高效的基板處理。此外,自動檢查能力允許最大限度地產生光刻結果。總之,SEMITOOL 240光刻機是一種先進的工具,旨在提供準確、可重復、可靠的半導體光刻工藝結果。這項資產結合了廣泛的特點,包括集成的溫度控制模型、激光光學對準器和上拉設備,以便產生精確的結果。該系統非常適合集成電路、晶體管和其他類型的高級芯片。
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