二手 SEMITOOL 260S #82971 待售

SEMITOOL 260S
製造商
SEMITOOL
模型
260S
ID: 82971
晶圓大小: Up to 5"
Spin rinse dryer, up to 5".
SEMITOOL 260S是一種由SEMITOOL, Inc設計制造的光阻設備。這種高端系統旨在處理從晶圓制造到光掩模制造的各種應用。260S旨在提高前矽工藝的光刻操作速度和準確性,如接觸面罩、鉛架、射頻濾波器和下一代半導體組件所需的其他組件。SEMITOOL 260S利用具有四軸運動的大型高分辨率光刻裝置,允許各種方向和設置。其高分辨率光學器件專為先進的光刻應用而設計,可處理小至50微米的孔徑尺寸。這臺機器的精確度和準確性使其具有出色的圖像質量和可重復性,這意味著該工具可以在高分辨率的生產環境中使用。260S還具有先進的電動機控制資產,可精確控制四軸運動。這種電機控制允許極快的定位,可靠和精確的對準,以及低振動電機控制器。利用電子電機控制模型和四軸運動,SEMITOOL 260S能夠在比傳統光刻系統短得多的時間內產生高質量的圖像。設備還配備了自動化軟件包,能夠自動調整組件,並控制系統的曝光、開發和蝕刻釋放過程。除了操作外,260S還具有多種選項,可為特定應用程序定制設備。計算機可以配置各種數字I/O、用戶定義的工作流、條形碼讀取器以及對陣列和對齊過程的擴展自動化支持。此外,該工具易於升級,可用於現有的SEMITOOL工具,包括Mesurol Pro、HP Indigo數字印刷機、GDSII分層和Videojet打印設備。總體而言,SEMITOOL 260S是一種提供卓越分辨率、準確性和可重復性的高端光刻膠資產。由於其先進的電機控制模型和四軸運動,它能夠產生比傳統光刻系統短得多的高質量圖像。此外,260S還配備了多種可定制的選項,並且易於升級以使用現有的SEMITOOL工具。
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