二手 SEMITOOL 270 #200803 待售

SEMITOOL 270
製造商
SEMITOOL
模型
270
ID: 200803
晶圓大小: 4" or 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4" or 6".
SEMITOOL 270光刻設備將先進的濕洗技術與先進的液晶顯示屏相結合,在光刻領域提供無與倫比的性能。該系統旨在以精確的精度和均勻性處理難以置信的薄層光刻膠,使制造商能夠生產線寬和特征尺寸非常細的晶片。270單元圍繞濕清潔工藝建造,利用溶劑輕輕溶解來自光刻膠層的汙染物。這臺高效的機器在每個連續循環之間自動清洗基板,確保光刻膠在整個操作過程中保持穩定和均勻。液晶屏允許用戶在整個過程中查看和監視精確的光刻膠厚度水平,提供額外的控制級別。SEMITOOL 270還包括一系列高級工藝,如去除邊緣珠、蝕刻和曝光後烘烤增強功能。當使用光致抗蝕劑時,去除邊緣珠特別重要,因為它可以防止沿基板邊緣的不均勻。執行蝕刻以有選擇地從晶片頂部移除不需要的層。最後,利用曝光後烘烤階段更好地將光刻膠粘合到基材上,防止升空等問題。總體而言,270光刻工具是一個極好的選擇,任何設施尋找一個簡單,可靠的光刻處理方法。這一資產為用戶提供了對光刻膠厚度水平的全面控制,確保了一致性和準確性。憑借其先進的工藝和液晶顯示屏,制造商能夠生產線寬和特征尺寸非常精細的晶片。這種模式也具有成本效益,運營成本低,前期成本低。
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