二手 SEMITOOL 280F #9105785 待售

SEMITOOL 280F是為化學機械拋光（CMP）、晶圓平面化和後CMP濕蝕刻清洗工藝而設計的光刻設備。系統的高級功能和軟件為用戶提供了易於操作和一致的過程性能。該裝置配備了精確、長壽命的復合柱塞配電機，用於各種光刻材料。它還具有一個用於安全維護和操作的聯鎖門工具、一個用於控制過程溫度的校準次環境通氣室以及一個用於使用點控制和數據記錄的車載計算機。280F資產具有符合人體工程學的設計，便於維護和工具校準。模型的模塊化設計允許用戶輕松擴展配置以滿足不斷變化的需求。它還包括標準和現場自動化的安全措施，例如危險材料管理設備、消除灰塵和空氣中顆粒的密封環境以及增強系統安全的氮氣清除能力。SEMITOOL 280F為手動、半自動化和全自動的CMP流程提供了廣泛的功能和選項。該裝置有一個高效率的物料泵，以固定速率輸送化學物質，用於送料的溫度控制，以及用於精確控制基板堆棧的可調速度帶。此外，它支持預濕/後沖洗晶片清潔操作。該機還包括一個便於罐裝的自動填充站和一個晶圓跟蹤工具，以確保精確的晶圓處理。280F資產還提供了市場領先的型號升級選項。隨著升級，用戶可以訪問增強的功能，如集成的光學傳感器用於晶圓檢測和流量控制。此外,該設備還提供用戶友好的圖形用戶界面（GUI）、基於軟件的流程設置和優化,以及通過控制器鏈接多個單元的能力。綜上所述,SEMITOOL 280F光刻膠系統為用戶提供了先進、符合人體工程學和安全的設計,並為手動、半自動和全自動的CMP流程提供了多種功能和選項。它具有高效、精密的物料泵、送料用的溫度控制、精確基板運動用的可調速度帶，以及用於增強單元性能的集成光學傳感器和流量控制。機器還提供用戶友好的GUI、基於軟件的流程設置和優化，以及通過控制器鏈接多個單元的能力。