二手 SEMITOOL 470 D #121593 待售

SEMITOOL 470 D
製造商
SEMITOOL
模型
470 D
ID: 121593
晶圓大小: 8"
Spin Rinser Dryers, 8" Includes cassette and rotor.
SEMITOOL 470 D是一種光刻設備,設計用來為各種基板制造防護塗層。該系統利用一種稱為深紫外線的特殊類型的光束來分解基板表面的納米級材料。通過分解這些納米級材料,可以將微米級的光致抗蝕劑層高精度地應用於基板上。470 D是一個完全自動化的單元,能夠實現非常精細的光刻塗層。伺服輔助機構配合SEMITOOL軟件提供了10微米的分辨率和2微米的垂直位移精度。SEMITOOL 470 D還配備了能夠塗覆200毫米寬以上基板的大型工作區。470 D的另一個好處是它能夠精確控制光致抗蝕劑材料的毯層,允許均勻的厚度和完美的附著在基板上。SEMITOOL 470 D還為用戶提供了廣泛的後處理選項。其內置的Dynamic Focus補償算法賦予用戶精確控制光刻膠層幾何形狀的能力,從而提高了預開發質量。該機還提供了一種最優的均勻模式控制算法,使用戶能夠調整其基板處理結果的動態範圍。最重要的是,濕度傳感器可以讓用戶更好地了解其底物的環境,而額外的聚合物模塊可以與470 D的光致抗蝕劑工具集成,從而進一步控制沈積特性。SEMITOOL 470 D由於其自動化但精密的塗層工藝而在競爭中脫穎而出。這一資產創造出具有微米級精度和動態後處理工具的均勻塗層,以達到最佳均勻性。470 D設計用於以極高的精度覆蓋幾乎任何尺寸和形狀的基板。這使得它成為一個理想的模型,任何人希望應用單層超薄的保護塗層到他們的基材。
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