二手 SEMITOOL 860S #9137504 待售

SEMITOOL 860S
製造商
SEMITOOL
模型
860S
ID: 9137504
Spin rinse dryer, up to 5" 102 Controllers, Digital, Non-Contact Labyrinth Rear Bowl Shaft Seal Brushless Motor Rotors (2) up to 5” Electro polished Bowl Polypropylene Cabinet “ Aero Style” Resistivity Static Eliminator Particle counts < 25 at 0.3 micron (2) Rotors 17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 860S是一種用於處理集成電路(IC)和其他半導體晶圓的全自動光刻帶設備。該系統設計用於受控環境(如晶圓制造設施)中的高生產率。它具有一個極其精確的單元,用於精確地查明IC上的光刻膠厚度層。860S由鑄鋁框架構成,其頂部裝有主工藝模塊。該模塊由一系列通道組成,加熱介質通過這些通道從晶圓頂部除去光刻膠,使剩余的光刻膠處於浮雕狀態。通道提供均勻的溫度,確保一致的結果,氣體壓力可以調整均勻覆蓋。機器還有一個專有軟件,它控制著工具,並提供了一系列不同的光刻帶程序。該軟件包括許多安全功能,旨在保護資產免受故障和外部幹擾。它還提供了一系列選項,以進一步根據操作員的要求定制模型。SEMITOOL 860S還有一個冷卻模塊,專門設計用於保持室內光刻膠的溫度,因為過度加熱會導致損壞和不良結果。冷卻模塊允許操作員設置所需的溫度範圍,以及壓力、輻射熱和大氣汙染物等廣泛的其他條件。總體而言,860S是一種創新的光阻設備,設計用於生產集成電路和其他半導體組件的最佳性能。它結合了精確的控制、溫度範圍、壓力水平和安全特性,使其成為高科技生產的理想選擇。該系統還具有很高的可編程性,允許操作員自定義其設置和結果以獲得最佳性能。
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