二手 SVG 8136 HPO #149607 待售

SVG 8136 HPO是一種光刻設備,專為半導體制造和其他高級應用而設計,需要最高的分辨率和最好的特性控制。這個全面的系統允許最幹凈、最精確的抗蝕劑形成和蝕刻。8136 HPO利用先進的化學放大光刻膠在自旋塗層中旋轉到基板層上,並暴露於由所需特征大小確定的特定波長的紫外線下。這種光照觸發了抗蝕劑和底物層之間的化學反應，改變了底物的電性能。底層的這種變薄允許許多先進技術所要求的微加工。SVG 8136 HPO還使用開發陷阱恢復過程來確保精確的模式。開發中的解決方案用於解除多余的光刻膠,並僅保留設備制造所需的圖樣。陷印步驟使用先入先出方法來遍歷陣列的邊緣並確保邊緣光滑。這可以使用氧氣等離子體或濕顯影後處理，以確保完美的清脆模式得到加強。為進一步確保精確度和清潔度,8136 HPO為設備和基板提供了業界領先的粘附控制。這種控制是通過一種快速熱控制的方法實現的，這種方法允許高速加熱和冷卻深入基板並產生更好的附著力。此外，由於集成了用特殊材料配制的高性能抗磨劑，該裝置提供了更好的耐磨性。最後,SVG 8136 HPO采用了業界領先的基於板載微控制器的感應光阻（SPR）優化軟件套件。這臺機器有助於控制精確的曝光水平，以確保最高分辨率的結果。該套件還提供詳細的跟蹤和審計功能，以更好地控制光刻過程。綜上所述，8136 HPO是制造最幹凈、最詳細的半導體結構的先進工具。其業界領先的光刻技術、開發陷阱恢復過程和專有的SPR優化軟件套件提供了最大的效率和準確性。